高純氣體管道工程指針對易燃易爆、毒腐性氣體進行安全輸送的管道設計方案。包含特氣房設計、管道設計、終端分配設計、氣體安全偵測系統設計等，te一般在實驗室、潔凈車間等設計比較多。

　　高純氣體管道工程部分盤點

　　1.氣房設計

　　根據氣體性質的不同，易燃易爆類氣體如硅烷、磷烷、乙炔、氫氣等氣體需放置在易燃易爆氣瓶間，毒腐性氣體如氨氣、笑氣等需放置在毒腐性氣瓶間。惰性氣體又是單獨放置，或根據現場情況非氧化性氣體可以放置在特氣房內。整個氣房常年排風，有新風進入。電氣管線必須防爆，同時具備火焰探測、消防噴淋、震動監測、泄露偵測、煙霧偵測、負壓偵測等功能。所有功能必須通過軟硬件整合至中控室聯動。

　　特氣必須使用防爆特氣柜(GC)放置鋼瓶，整個氣柜也包含有測漏保壓、抽真空、吹掃、負壓偵測等功能。液相氣體同時還要具備鋼瓶稱重、伴熱等功能。

　　2.管道設計

　　根據氣體性質，自燃性氣體如硅烷、磷烷等必須使用雙套管輸送。即工藝管線采用1/4’’管路輸送，在其外部再套一個1/2’’的外管進行防護。工藝管路必須采用SUS316L，EP級拋光的潔凈管，外套管也需是SUS316LB*或AP的不銹鋼管道。管道全部采用美國世偉洛克全自動焊接，禁止采用卡套、手工焊等連接方式。內外管均需通過氦檢測試，外管同時需要加裝壓力傳感器監測實時負壓。

　　3.終端設計

　　特氣從GC經過管道一對一進入VMB(氣體閥門分配柜)，所有VMB又必須具備二級調壓、壓力偵測、吹掃、抽真空、泄露偵測、排放等功能。VMB一般由二級調壓閥、單向閥、氣動膜閥、手動膜閥、真空發生器等組成，全部閥門管件接頭必須采購至*的供應商。

　　4.安全偵測系統設計

　　氣體安全偵測系統是整個特氣系統的生命安全系統。它是基于氣房及設備、管道、終端及設備等的一整套偵測系統，包含有：氣體泄露偵測、環境偵測、煙感、火焰、震動報警等。