GCE高純氣路系統規劃

更新時間：2024-01-15

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GCE高純氣路系統規劃

高純氣體需要高質量的減壓器能否將高純氣體送至用氣點仍保持合格的質量，不僅對供氣系統的規
劃、設計、施工安裝、驗收測試到運營各個階段有十分嚴格的要求，而且對高純氣體供氣系統中的輸送氣路和各類閥門的材質和選用有嚴格要求。
為了確保終端用氣點性能的穩定，不僅需要保持氣體壓力的穩定性和連續的流量，而且需要有良好的保護措施防止氣體使用端的污染。任何氣體供應系統中，對壓縮氣體的安全處理需要具備對法規及技術知識的綜合了解。
GCE Druva高純氣路系統的質量是由一系列性能決定的：
• 低泄漏率,高密封性
• 小化死角設計
• 哈氏合金膜片耐腐蝕,使用壽命長
• 阻尼系統
• 吹掃功能
• 連接口沒有異物阻擋氣流,保證安全
系統終的安裝和后期維護也是需要特別注意的。

雙級減壓器,
適用于惰性氣體、可燃氣體、助燃氣體及混合氣體,
純度6.0
進氣壓力230 bar / 3300 psi
出氣壓力范圍0.2 – 10.5 bar / 3 – 145 psi
設計特點
• 雙級設計使得出氣壓力保持恒定，幾乎不受進氣壓力影響
• 隔膜閥帶90°關斷功能 (FMD 502-16) 或流量調節閥 (FMD 502-18)
• 膜片式減壓器
• 符合ATEX認證的防爆、柔性的調壓手輪
描述
這些減壓器包含了鋼瓶接頭、減壓器母體、高低壓表、隔膜閥(型號-16)及流量調節閥(型號-18)及泄壓閥(如出氣
壓力>50bar)及卡套接頭。加裝感應式壓力表和壓力報警盒能更好的實現氣體監控功能。
應用
FMD502系列鋼瓶減壓器提供了廣泛的使用范圍和良好的性能。
帶隔膜閥的500-16型可以讓減壓器在調壓的同時打開/切斷氣流。帶流量調節閥的FMD 502-18型使得氣體流量
的調節更為精準。雙級設計保證了出氣壓力的恒定，幾乎不受進氣壓力影響。
技術參數
母體: 經特殊清洗處理、電拋光的316L (1 .4404) 或
經特殊清洗處理、鍍鎳和鍍鉻的黃銅CW614(CuZn39Pb3)
1級閥座密封: PCTFE
2級閥座密封: PTFE
密封材質: PCTFE (不銹鋼), PTFE (銅鍍鉻)
泄壓閥密封材質: 不銹鋼: FKM, (EPDM, FFKM)*
銅鍍鉻: EPDM, (FKM)*
性能參數: 請見第五章
基本參數: 請見第11頁
壓力表量程: -1 – 5 bar (-15 – 75 psi)
-1 – 10 bar (-15 – 145 psi)
-1 – 18 bar (-15 – 260 psi)
0 – 315 bar (0 – 4500 psi)
重量: 約2 .1 kg (型號 -14), 2 .4 kg (型號 -16/18)
尺寸 (寬×高×深): 約225×140×210 mm
鋼瓶連接標準: 符合DIN 477
鋼瓶連接: 根據氣體不同, 請見第五章
出氣連接: NPT 1/4"f, 可選卡套接頭

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