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    GCE氣體匯流排減壓器規(guī)劃流程

    更新時(shí)間:2023-07-04      瀏覽次數(shù):657

    GCE氣體匯流排減壓器規(guī)劃流程

      使用 先進(jìn)的自動(dòng)焊接施工工藝安裝管道、減壓器、壓力表、高壓金屬軟管、鋼瓶接頭、焊接接頭、卡套接頭、不銹鋼潔凈管等。

      (1)易燃性氣體

      把自燃、易燃、可燃?xì)怏w等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會(huì)燃燒,當(dāng)環(huán)境溫度達(dá)到一定時(shí),PH3與B2 H6等氣體也會(huì)產(chǎn)生自燃。可燃都有一定的著火燃燒爆炸范圍,即上限、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險(xiǎn)性就越高,如B 2H6的爆炸上限為98%,爆炸下限為0.9%。屬于有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。

      毒性氣體(Toxic Gas):半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對(duì)人體有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性 大,它們的閾限值TLV(Threshold Limited Valve)分別只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微,因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來控制使用這些氣體。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬于毒性氣體。

      (3)腐蝕性氣體(Corrosive Gas):這些腐蝕性氣體通常同時(shí)也兼有較強(qiáng)的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬,但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強(qiáng)的腐蝕性,如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3,WF6等。

      惰性氣體(Inert Gas): 隋性氣體本身一般不會(huì)直接對(duì)人體產(chǎn)生傷害,在氣體傳輸過程中,相對(duì)于安全上的要求不如以上其他氣體嚴(yán)格。但惰性氣體具有窒息特性,在密閉空間若發(fā)生泄漏會(huì)使人窒息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。                                                                                                                                   GCE氣體匯流排減壓器規(guī)劃流程


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